AMAT 0015-09077节流阀驱动器

AMAT 0015-09077节流阀驱动器以下为主要特点。属于美国应用材料AMAT半导体设备专用配件。集成东方马达VEXTAPX245-02AA步进电机。用于驱动节流阀控制真空腔室排气流量。配合真空泵组工作调节腔室真空度。可实时反馈阀门开度位置至控制系统。适用于刻蚀、沉积等半导体制程工艺。采用电动驱动方式流量调节连续平滑。内置过流、过压、短路等保护功能。将低压控制信号转换为高压驱动信号。适配200mm及300mm晶圆生产线。响应速度快满足工艺真空度动态调整需求。阀体材质为316L不锈钢耐腐蚀性强。密封件采用金属波纹管泄漏率极低。支持远程控制及闭环调节。主要应用于CVD、PVD等半导体真空设备。结尾综上AMAT 0015-09077在驱动方式、控制精度、安全保护和系统集成等方面配置明确是一款适用于半导体真空工艺的专用驱动装置。