扫描电镜（SEM）会产生哪些信号？

当高能电子束与样品相互作用时会产生多种类型的信号。这些信号提供了有关材料表面形貌、成分和结构的关键信息。1.二次电子SE是入射电子将样品表面附近原子中的低能电子激发出来的。它们携带表面敏感信息深度10 nm。用于高分辨率表面成像和形貌观察。2.背散射电子 (BSE)是指能量损失极小而从样品表面反射回来的初级电子。信号强度取决于原子序数——较重的元素看起来更亮。用途成分对比和材料相区分。3.特征X射线当内层电子被击出并被外层电子取代时会释放出具有元素特定能量的X射线。用途通过EDS或WDS探测器进行元素分析。4.俄歇电子是指电子跃迁产生的过剩能量传递给另一个电子而不是发射X射线时产生的电子。它对表面高度敏感深度1-5纳米。用于通过俄歇电子能谱AES进行表面化学分析。5.阴极发光CL是指电子轰击激发材料时材料发出可见光或近紫外光的现象。用于研究半导体、矿物和缺陷相关的发光现象。