干涉测量的非序列仿真

Mirau干涉测量法是一种众所周知的技术它可以以高达所用波长的百分之一的精度测量表面。为了充分研究和设计这样的系统非顺序仿真方法很有帮助因为它会自动将系统内部反射产生的干涉效应考虑在内。因此本周我们不仅展示了这样一个装置还通过研究不同形状标准具的干涉效应来详细阐述了测量原理。Mirau 干涉仪的仿真在此用例中我们通过非序列通道概念在 VirtualLab Fusion 中设置 Mirau 干涉仪仿真了典型的干涉条纹图案。具有平面或曲面的标准具建模我们设置了具有平面和曲面的光学标准具。利用非序列场追迹技术研究了干涉条纹的差异。