32：Trace Data（S6F11）工艺追踪数据与FDC对接逻辑

32Trace DataS6F11工艺追踪数据与FDC对接逻辑一、本课学习目标掌握S6F11/S6F12报文定义、收发规则与W位属性理解Trace Data数据源为DV工艺变量熟悉采样配置逻辑理清机台→EAP→FDC完整数据转发链路掌握Trace采集启停配置、采样周期设置规范熟练排查FDC无曲线、丢数、参数异常等现场问题二、S6F11/S6F12基础报文说明S6F11 Trace Data Report方向Equipment→Host(EAP)W0异步主动上报内容绑定的DV变量编号、实时采集数值、采集时间戳核心FDC所有工艺曲线、实时参数的唯一来源报文S6F12 Trace Data ACKEAP收到S6F11后的应答回执机台用来确认数据投递成功无S6F12应答部分机型会缓存数据、重复补发报文固定闭环设备上送S6F11 → EAP回复S6F12三、Trace Data基础概念采集对象DVData Variable工艺变量温度、压力、流量、功率、真空等模拟参数采样模式周期采样固定毫秒/秒间隔持续采集腔体稳态工艺事件触发采样对应CEID事件触发后短时采集腔体开关、工艺步骤切换采集时机机台RUN运行阶段持续上报IDLE空闲默认停止Trace上报四、EAP配置Trace标准步骤查阅设备GEM手册梳理需要采集的DV编号清单在EAP或机台GEM配置内将目标DV加入Trace订阅列表设置采样周期常用100ms/500ms/1s依据工艺精度需求配置触发条件RUN启动自动开启Trace、结束自动关闭Trace配置EAP转发规则解析S6F11数据标准化后推送FDC数据库五、全链路数据流向腔体传感器AI采集→PLC→机台控制器打包DV数据→S6F11→EAP解析→EAP转发→FDC存储绘图EAP职责报文解析、格式转换、异常数据过滤、稳定转发禁止篡改原始参数六、Trace常见现场故障与排查故障1FDC完全无曲线、空白无数据目标DV未添加至Trace订阅清单机台RUN状态下S6F11报文未触发上报EAP与FDC接口断开、转发服务异常机台GEM内Trace上报总开关关闭故障2曲线间断、频繁丢点网络波动S6F11报文丢包采样周期过小机台控制器负载过高溢出丢数据EAP缓存溢出来不及解析丢弃报文故障3参数数值明显偏离实际DV量程换算系数EAP配置错误机台侧原始采集硬件/传感器故障点位绑定错误A参数匹配B点位故障4RUN有数据IDLE正常停机但残留零散数据正常现象工艺收尾阶段短时采样非故障七、Trace与R2R联动关系S6F11采集的全量工艺数据经由EAP推送FDCFDC汇总实测数据后送入R2R系统计算补偿参数修正参数更新进Recipe通过S7F3下发机台完成批次闭环修正八、本课核心总结S6F11工艺实时数据上报W0S6F12EAP回执应答Trace只采集DV变量SV/AV不参与Trace曲线采集无FDC曲线排查顺序DV订阅→S6F11报文→EAP转发→FDC服务RUN自动开采集、IDLE停采集是行业通用配置规范Trace是FDC、R2R两套系统的数据根基九、课后小作业S6F11/S6F12收发方向与W位分别是什么Trace采集的变量类型是SV/DV/AV哪一种FDC无数据的三步排查方法Trace数据最终供给哪两个系统使用简述Trace从传感器到FDC完整数据流