【信息科学与工程学】【物理/化学科学和工程技术】知识体系01——力学基础05 编号类型力学/物理领域子领域核心数学方程式/算法模型关键参数与数值物理机制与设计考量关联知识实现工具与工艺考量104CPU/GPU芯片​材料力学/弹性力学​应变硅工程与应力记忆技术1.应力-迁移率模型:μ0​Δμ​=Π∥​σ∥​+Π⊥​σ⊥​, 其中 Π∥,⊥​为纵向/横向压阻系数。2.薄膜应力:σf​=1−νf​Ef​​⋅(αs​−αf​)⋅ΔT(热失配), 或 σf​=σintrinsic​(本征应力)。3.应力线性叠加:对于多重应力源,总应变 ϵtotal​=∑i​ϵi​。沟道应力​ σ(GPa, 目标:pFET压应力 1.5 GPa, nFET张应力 1.0 GPa)