AMAT 0190-25527射频发生器

AMAT 0190-25527 射频发生器是应用材料半导体设备中专用于产生射频能量的核心电源模块其核心特点总结如下部件编号0190-25527为AMAT专用备件。用于产生射频能量激发工艺腔室内的等离子体。输出频率推测为13.56 MHz或2 MHz。适配PVD、CVD或刻蚀等半导体工艺。配备AMAT专用总线或DeviceNet通信接口。具备高精度功率输出调节能力。内置过压、过流、过热保护。具备反射功率检测功能防止驻波比过高损坏。采用模块化插拔式设计便于更换。配合风冷或水冷系统散热。配备LED或数码管显示功率及故障代码。支持远程开关控制及功率设定。常用于AMAT Centura、Endura等平台。多用于旧型号AMAT设备的备件替换。结尾综上所述AMAT 0190-25527 射频发生器具有输出稳定、专用于AMAT设备及保护功能完善的特点是工艺腔室中等离子体激发的关键部件。